일반기술

반도체 장치의 픽업 장치

본 기술은 반도체 장치의 픽업장치에 관한 것이며, 복수개의 픽업 헤더의 상대적인 피치값을 조절가능하도록 구조가 개선된 반도체 장치의 픽업장치에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 프레임이 형성되고, 프레임상에 설치되는 복수개의 픽업 헤더가 구비되고, 이 픽업 헤더간의 피치를 동일하게 유지하며, 서로 반대되는 방향으로 공히 직선왕복운동 가능하게 설치된 수평운동수단이 설치되어 있다. 본 기술은 하나의 구동 모우터를 이용하여 풀리를 공히 회전시키고, 풀리들사이에 연결된 벨트상에 복수개의 픽업 헤더를 설치하여 서로 반대되는 수평 방향으로 이동시킴으로써, 각 픽업 헤더간의 피치값을 조절하는 것이 용이하게 되어서, 작업처리량을 극대화시킬 수 있다.표면실장장치나 핸들러와 같은 반도체 장치는 전자 부품을 픽업하여 회로 기판상에 실장하거나, 번인보드상에 장착하여 전기적인 특성을 검사하는 장치이다. 이러한 장치는 전자 부품을 픽업한 픽업 장치를 이용하여, 수평, 수직운동 및 회전 운동을 시켜서 이를 소망하는 위치에 장착가능하게 한다. 최근에는 픽업장치가 복수개의 픽업 헤더를 구비하여서, 이 픽업 헤더가 수평 및 수직 가이드부를 따라 직선왕복운동을 하게되어 기판이나 소켓 등에 공히 전자부품들을 실장하거나, 장착후 전기적인 특성을 검사하게 된다. 이때, 각 픽업 헤더의 노즐에 흡착되는 전자 부품간의 피치는 장착되고자 하는 기판이나 소켓상에 형성된 부품장착부간의 피치와 동일한 피치를 유지하여야 한다. 이때문에 종래에는 조정시간이 많이 소요되고, 조정이 용이하지 않거나 픽업장치의 구조가 복잡해지고, 피치값의 고정밀도를 유지하는 것이 어렵게 된다.