일반기술

핸들러용 헤드 조립체

본 기술은 핸들러용 헤더 조립체에 관한 기술이며, 반도체 디바이스에 대한 다음 테스트를 위한 시간을 단축시키기 위하여 구조가 개선된 핸들러용 헤더 조립체에 관한 기술이다. 본 기술의 핸들러용 헤드 조립체는 다음과 같은 구성으로 이루어져 있다. 프레임이 설치되고, 이 프레임에 일정 간격 떨어져 있는 한 쌍의 X-Y이송수단들이 설치되며, 각 X-Y이송수단에 부착되는 노즐유닛이 형성되고, 한 쌍의 X-Y이송수단에 의하여 각각 현가된 노즐유닛을 서로 엇갈리게 이동시켜 그 위치를 교번시키는 노즐유닛 이송수단이 설치된다. 이와 같이, 두 개의 노즐유닛들을 구비하여, 각 노즐유닛이 테스트 장비 측으로 반도체 디바이스를 공급하고, 테스트가 완료된 반도체 디바이스를 픽업하는 작업과, 테스트가 완료된 반도체 디바이스를 지정된 장소에 적재하고, 테스트를 받기 위한 새로운 반도체 디바이스를 픽업한 후 대기하는 작업을 동시에 수행하도록 함으로써, 다음 테스트를 위한 시간을 최소화할 수 있다.반도체 디바이스의 제조공정에 있어서, 조립공정이 완료된 반도체 디바이스는 최종적으로 소정의 기능을 발휘하는지 여부를 체크하는 테스트 공정을 거치게 된다. 이를 위해서 테스트 핸들러와 테스트 장비가 이용되며, 이 테스트 핸들러는 반도체 디바이스를 테스트 장비에 연결하고, 테스트 결과에 따라 분류하여 등급별로 적재하게 된다. 이러한 종래의 테스트 핸들러에 있어서, 반도체 디바이스를 흡착하기 위한 수단으로 하나의 헤더 조립체가 사용되며, 이 헤드 조립체는 캐리어에 의하여 공급되는 반도체 디바이스를 픽업하여 테스트 장비로 보내어 테스트를 수행하고, 테스트가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 적재하거나, 다음 공정을 위하여 보내는 작업을 하게 된다. 이와 같이 헤더 조립체는, 픽업하여 테스트 장비로 보내는 작업과 테스트를 완료한 후 적재하기 위하여 보내는 작업을 순차적으로 수행하게 됨으로써, 다음 테스트를 위한 시간이 많이 소모되어, 제조 공정이 비효율적으로 이루어지게 되는 단점이 있었다. 본 기술에 의한 핸들러용 헤드 조립체는 두개의 노즐 유닛을 구비함으로써, 하나의 노즐 유닛에 의하여 이송된 반도체 디바이스가 테스트를 받는 동안, 다른 노즐 유닛은 그 이전에 테스트가 완료된 반도체 디바이스를 지정된 장소에 적재하고, 테스트를 받기 위한 새로운 반도체 디바이스를 픽업한 후 대기하도록 함으로써 다음 테스트를 위한 시간을 최소화할 수 있는 특징이 있다. 또한, 이 핸들러용 헤드 조립체는 테스트 공정 뿐만 아니라 픽업을 한 후 일정 작을 행하고 다시 적재하는 공정이 요구되는 분야에서 적용이 가능할 것으로 기대된다.