일반기술

텅스텐탄화물-티타늄질화물 초격자 코팅막과 그의 제조장치 및 방법

본 기술은 초경도 코팅막과 그의 제조 장치 및 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 초경도 코팅막은 모재; 모재상에 형성되는 적어도 한층 이상 적층되는 초격자 내마모층을 포함하며, 상기 초격자 내마모층은 TiN층과 WC층이 적어도 한번이상 교대로 적층된 막인 것을 특징으로 한다. 모재; 모재상에 형성되는 적어도 한층 이상 적층되는 초격자 내마모층을 포함하며, 상기 초격자 내마모층은 TiN층과 WC층이 적어도 한번이상 교대로 적층된 막인 것을 특징으로 하는 초격자 코팅막상기한 본 기술의 목적을 달성하기 위하여, 모재; 모재상에 형성되는 적어도 한층 이상 적층되는 초격자 내마모층을 포함하며, 상기 초격자 내마모층은 TiN층과 WC층이 적어도 한번이상 교대로 적층된 막인 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 초격자 내마모층이 두층이상 적층되는 경우, 상기 초격자 내마모층 사이에 응력 해소층이 각각 개재되며, 응력 해소층은 Ti와 WC의 혼합층으로 형성된다. 아울러, 상기 초격자 내마모층과 응력 해소층의 적어도 한번 이상 적층된 막의 전체 두께는 3 내지 5㎛인 것을 특징으로 한다. 또한, 다른 견지에 의하면, TiN층과 WC층의 적층막으로 된 초격자 내마모층을 포함하는 초격자 코팅막을 제조하기 위한 장치로서, 코팅 처리가 진행되는 진공함과, 상기 진공함의 압력을 소정 압력 만큼으로 저하시키는 진공 펌프와, 상기 진공함내에 장착되면서 아크(ARC) 방전이 발생될때 WC층이 증착되도록 하는 적어도 하나 이상의 WC 음극 아크원과, WC 음극 아크원과 대치되도록 배치되면서 TiN막이 증착되도록 하는 적어도 하나 이상의 Ti 음극 아크원과, 모재가 Ti과 WC 각각의 음극 아크원의 전방을 교대로 지나도록 이송시키면서 직류 바이어스 전압을 인가할 수 있도록 진공함과 절연된 회전식 지그와, 상기 진공함내에서 화합물 합성을 위해 반응성 가스 즉, N2 , Ar 가스 유량을 조절해주는 가스 유량 조절부를 포함하며, 상기 회전식 지그의 회전 속도에 의하여 상기 TiN층과 WC층의 두께가 조절되는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 회전식 지그의 회전 속도가 증가하면 TiN층과 WC층의 두께가 감소된다.