일반기술

ＭＥＭＳ 기술을 이용한 가속도센서 및 그 제조방법

*원리 및 구성가속도센서 및 MEMS 기술을 이용한 가속도센서의 제조에 관한 것으로, 1)실리콘 웨이퍼 양면에 제 1 산화막을 형성시키고, 2)제 1 산화막을 패터닝하여 패터닝된 실리콘 웨이퍼의 하면을 벌크 에칭(bulk etching)하고, 3)벌크 에칭된 실리콘 웨이퍼에 제 2 산화막을 형성시켜 제 2 산화막을 패터닝하고, 4)실리콘 웨이퍼의 하면에 베이스 실리콘 웨이퍼를 적층하여 실리콘 웨이퍼에 진동센서를 DEEP RIE(Reactive Ion Etching) 식각으로 형성하고, 5)실리콘 웨이퍼에 DEEP RIE(Reactive Ion Etching) 식각으로 광섬유 삽입홈을 형성하고, 6)광섬유 삽입홈에 입, 출력 광섬유를 고정시켜, 입/출력 광섬유가 고정된 상기 실리콘 웨이퍼 상면에 고정물을 패키징하는 방법으로 제조가 이루어진다.*개발배경광섬유의 사용으로 온도의 영향과 케이블에서의 잡음 극복과 원거리 측정이 가능하며, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정을 이용하여 소형화된 센서를 저렴하게 생산할 수 있는 가속도센서 및 MEMS 기술을 이용한 가속도센서의 제조방법을 제공함에 있다. *중요성 및 독창성MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정을 이용하여 센서의 소형 제작이 가능하다.*응용분야가속도센서는 관성센서의 일종으로서 연구, 군사용 등의 특수용도 시장과 더불어 최근에는 자동차 및 가전 제품의 성능 향상이나 신기능 추가의 요구에 따라서 그 적용 분야가 다양하다.*특징 및 장점-가속도센서 및 MEMS 기술을 이용한 가 속도센서의 제조방법은, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정을 이용하여 센서의 소형 제작이 가능하며, 광의 전송로로써 광섬유를 사용하여 무인 자동화 시스템을 구축할 때 다수의 공작기계를 장거리에서 효율적인 진단 및 감시가 가능한 효과가 있다.