일반기술

ＵＶ경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템

*원리 및 구성UV 나노임프린트(NANOIMPRINT) 공정에서 사용되는 UV경화성수지에 대한 실시간 경화도 측정시스템에 관한 것으로, 적외광을 방출하는 IR광원과, IR광원으로부터 방출된 적외광을 간섭시키는 간섭계와, UV경화성수지 시료를 통과한 적외광을 검출하는 검출기와, 검출기의 검출결과를 연산처리하여 출력하는 디지털 프로세서로 구성되며, 검출기 다음의 광로상에 시료를 장착하여 분석하는 FT-IR분광기와, 자외광을 방출하는 UV광원과, UV광원으로부터 방출된 자외광을 FT-IR분광기내에 장착된 시료에 조사되도록 안내하는 광가이드로 구성된다.*개발배경종래의 푸리에 변환 적외선 분광기(FT-IR ; Fourier Transform Infrared Spectroscopy)에 UV조사장치부를 부가하여, UV조사에 의해 UV경화성수지를 경화시키면서 실시간으로 그 경화도의 변화를 파악할 수 있도록 하는 UV경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템 및 그 방법을 제공함에 있다.*중요성 및 독창성특정 UV경화성수지에 대한 최적의 UV조사시간을 정확하게 측정할 수 있다.*응용분야나노기술중의 하나인 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography)에 관한 연구도 활발한데, 나노임프린트 리소그래피 기술은 수~수십 나노급의 선폭을 가지는 스탬프(stamp)를 전자빔 리소그래피(electron beamlithography)를 이용하여 제작한 후, 스탬프에 형성된 패턴과 동일한 형상을 원하는 곳에 모사하는 기술 등에 응용이 가능하다.*특징 및 장점특정 UV경화성수지에 대한 최적의 UV조사시간을 정확하게 측정할 수 있어, 종국적으로 UV 나노임프린트 공정의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.