일반기술

유한차분 시간영역법에서 두께가 얇은 세 개의 유전체판이 포함된 이셀을 해석하는 방법

본 발명은 유한차분 시간영역법에서 두께가 얇은 세 개의 유전체판이 포함된 Yee 셀을 해석하는 방법에 관한 것으로, 임의의 구조에서 전체크기에 비해 아주 얇은 세 개의 유전체판이 포함되어 있는 구조를 유한차분 시간영역(Finite-Difference Time-Domain, 이하 FDTD라고 칭함)법을 이용하여 해석할 때 보다 효율적으로 해석을 할 수 있도록 해주는 방법에 관한 것이다.본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로, FDTD법에서 Yee 셀에 두께가 얇은 세 개의 유전체판이 포함되어 있을 때 사용할 수 있는 수식을 유도함으로써, 적은 양의 메모리를 이용해서 짧은 시간에 해석이 가능한 효율적인 두께가 얇은 세 개의 유전체판이 포함된 Yee 셀을 해석하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.본 발명은 세 개의 유전체판(210, 220, 230)의 각각의 두께 D1, D2, D3 중 제일 얇은 두께의 값이 고저항박막웨이퍼(120) 내의 구조물의 높이(H2)의 1/40이하인 구조의 전자장 수치를 해석하는 FDTD법에 있어서, 상기 3개의 유전체 판(210, 220, 230)이 포함된 영역이면 상기 3개의 유전체판(210, 220, 230)이 포함된 YEE 셀(40, 50)로 분할하는 단계(S50)와; 상기 3개의 유전체 판(210, 220, 230)이 포함된 YEE 셀(40, 50)로 분할한 영역을 하기의 수학식을 이용하여 EX, EY, EZ, HX, HY, HZ를 계산하는 단계(S60)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유한차분 시간영역법에서 두께가 얇은 세 개의 유전체판이 포함된 YEE 셀을 해석하는 방법이다.본 발명은 전체크기에 비해 아주 얇은 세 개의 유전체판이 포함되어 있는 구조를 FDTD법을 이용하여 해석할 때 3개의 유전체판이 구비된 영역해석을 위해 사용되는 수식을 유도하여 이 수식을 적용함으로써, 보다 효율적으로 즉, 보다 적은 양의 메모리를 이용해서 보다 짧은 시간에 정확하게 해석할 수 있다.