일반기술

풀-업형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치제작방법

본 기술은 각종 통신 시스템에서 사용되는 반도체 스위치 제작에 관한 것으로서, 하부에서 상부로 동작하는 pull-up 형태의 캔틸레버를 사용한 pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법에 관한 것이다.본 기술의 Pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치는 높은 단락/개방 격리 특성을 가지며, 낮은 구동전압으로 인해 통신 시스템 내부에 구동 전압을 승압하기 위한 회로가 불필요하므로 시스템의 크기를 소형화가 가능하며, 구동시 캔틸레버를 구성하는 금속의 변형이 없으므로 장시간 사용 후 특성 변화가 거의 없으며, 반영구적으로 사용이 가능한 효과가 있다.본 기술은 종래의 Pull-down 형태의 캔틸레버를 Pull-up 구조로 하여 낮은 직류 전압으로 캔틸레버와 전송 선로를 단락시키고, 캔틸레버를 두꺼운 금속층으로 구성하여 캔틸레버의 무게에 의한 중력을 이용하여 개방하는 구조의 Pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치제작방법을 제공한다.본 기술은 상기에서와 같은 종래의 마이크로 머시닝 스위치에서의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 통신 시스템에 사용 가능 할 수 있도록 5 V 이하의 낮은 직류 전압에서 구동 가능하고 반영구적으로 사용 가능하도록 할 수 있는 pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법을 제공하는데 그 목적이 있다.*제작단계1. 규소 기판을 완전히 식각2. 규소 기판으로의 신호 손실을 막기 위한 산화막 성장 후 도금방법을 이용하여 식각된 부분을 금으로 채움3. 규소 기판 상하부에 측정 패드, 캔틸레버 구동용 직류 전압 인가용 패드 및 캔틸레버의 접촉 패드를 형성4. 캔틸레버 구동용 정전기력 발생을 위한 유전박막 적층5. 도금 방법을 이용하여 두꺼운 금속 층의 캔틸레버를 제작6. 캔틸레버를 지지하고 캔틸레버와 접촉 패드와의 일정한 간격을 유지하기 위해 유리를 식각7. 규소 기판과 유리를 양극접합 방법을 이용하여 접합 이상의 pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법을 이용하여 제작하여, 캔틸레버를 Pull-up 구조로 하여 낮은 직류 전압으로 캔틸레버와 전송 선로를 단락시키고, 캔틸레버를 두꺼운 금속층으로 구성하여 캔틸레버의 무게에 의한 중력을 이용하여 개방하는 구조의 Pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법이다.