일반기술

원자층증착법을 이용한 유리기반 OLED 디스플레이를 위한 박막봉지 및 평가기술

▣ 원자층증착법을 이용한 유리 기반 OLED 디스플레이를 위한 박막봉지 및 평가 기술○ 신뢰성있는 OLED 디스플레이의 제작 및 구현을 위해서는 OLED를 수분과 산소로부터 효과적으로 차단할 수 있는 봉지기술이 요구됨.○ 본 기술은 박막 봉지 기술중의 하나로 보호막의 특성이 우수 무기막을 이용하여 단일박막만으로도 기존의 캔 봉지나 필름 라미네이션, 유/무기 다층박막 패시베이션 기능을 하는 초박막 봉지기술임.○ 본 기술에서는 박막의 우수한 커버력을 자랑하는 원자층 증착법을 이용하여 보호막을 형성하므로 저온에서도 아주 치밀한 박막을 형성할 수 있는 장점이 있고, 열, 플라즈마 및 기타 보호막 형성에 필요한 반응물에 의한 OLED 소자의 결함 형성을 최대로 억제할 수 있어 OLED 특성의 저하나 손상없이 보호막을 형성할 수 있는 장점이 있음.○ 본 기술은 보호막 형성에 이용하는 무기 박막과 유기 박막 혹은 유/무기 다층 박막의 투습, 투산소도, 스트레스등의 특성을 정교하게 평가하는 기술로서 보호막의 특성을 정확하게 평가함으로써 더 나은 특성의 보호막을 확보함으로써 장수명, 고성능의 다양한 OLED 소자를 제공하고자 함.○ 상용기술인 캔 봉지기술은 상부방출형이나 대형 OLED 디스플레이에는 적용 불가함. 특허는 마쯔시다 전기에서 소유 ○ 박막 봉지기술은 1990년 산요에서 폴리머 보호막 형성 기술을, Kodak사에는 금속 보호막 형성 기술에 대한 특허를 출원하였으며, 현재의 다층박막구조는 HP사가 1997년에 출원하였음.○ Vitex사에서 OLED의 상층에 아크릴계 롤리머와 알루미늄 옥사이드 적층을 구성하여 가장 유력한 기술로 평가 받고 있음. 그러나 우수한 보호막 특성을 확보하기 위하여 5층 이상의 다층 구조를 형성해야하므로 양산성에 문제가 있음.○ 하이브리드 봉지기술은 박막과 캔 봉지기술이 혼합된 기술로 각각의 기술의 문제점을 보완하여 개발된 기술로 SONY사의 3.8"PDA 에 본 기술이 적용되었으며, 대형화가 가능한 기술로 평가됨.