일반기술

나노패터닝용 프린팅 헤드 장치

본 기술은, 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치에 관한 것으로서 쉐도우마스크의 구조와 분사구조를 개선하여, 패터닝의 정밀도가 향상되고, 초미세 나노 패터닝과 임의 형상의 패터닝이 가능한 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치를 제공하는 것이다.본 기술은 전극, 격벽, 유전막, 형광체, 바이오 재료(단백질, 세포) 등을 간단하고, 빠르게 패터닝 함과 동시에 정밀하게 패터닝 할 수 있는 고속, 대면적 나노 패터닝 방법을 제공한다.본 기술은 액체상의 프린팅물질을 수용하는 매니폴더와 매니폴더와 연통되는 분사챔버를 갖는 카트리지와 카트리지의 분사챔버측 외측에 설치되는 패터닝용 샘플홀더를 갖는 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치에 있어서, 분사챔버 외측에 X-Y방향으로 미세 유동 가능하게 설치되며, 비교적 미세한 단일의 분사홀을 갖는 쉐도우마스크와 쉐도우 마스크를 미세 유동 시키는 엑츄에이터와 고전압발생기와 고전압발생기로부터 전원을 인가받으며 분사챔버 내에 설치되어 양전하를 형성하는 전원공급전극과, 쉐도우마스크를 사이에 두고 샘플홀더에 음전하를 형성하는 대향전극을 가지고 분사챔버로부터 샘플홀더를 향해 유도방전을 형성하는 분사유도유닛과; 미리 입력된 패터닝 데이터에 대응하는 패터닝 위치로 쉐도우마스크의 분사홀이 이동하도록 엑츄에이터의 구동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 기술에서 제안한 ESD(정전기 유도 증착) 및 SAW-ED (표면탄성파-정전기 유도 증착) 기술을 IT (PDP/LCD/OLED 디스플레이용 격벽, 전극, 형광체 제작) 및 BT(Protein/Cell 패터닝)에 활용할 경우 고속, 저가의 패널 및 바이오칩 제작이 가능할 것으로 판단된다.