일반기술

강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자 및 그 제조방법

본 발명은, 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자에 관한 것으로, 본 발명에 따른 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자에 있어서, 상기 강유전체 박막에 가해준 전기장과 상기 강유전체의 분극변위와의 관계를 도시한 이력곡선이 원점을 기준으로 비대칭성을 나타냄을 특징으로 한다. 이에 의해 에이징이 현저히 감소되고, 넓은 단일분극(unipolar) 제어범위를 갖는 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자가 제공된다강유전체박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자에 있어서, 강유전체막층과, 상기 강유전체막층과 전기적으로 접촉하여 대향하는 전극층들을 포함하고, 상기 강유전체박막에 가해준 전기장과 상기 강유전체의 분극변위와의 관계를 나타내는 이력곡선이 원점을 기준으로 전기 쌍극자의 일극 편향성을 나타냄을 특징으로 하는 마이크로머신용 압전소자. 이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자는 원점에 대한 비대칭이력곡선을 가짐을 특징으로 한다. 이에 따라, 넓은 단일분극(unipolar) 제어범위를 가지며, "에이징"에 의한 압전상수 변동 등이 현저히 감소된다. 또한, 분극방향이 빈번하게 스위칭됨으로 인한 피로현상을 없앨 수 있게 된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 소자를 안정적으로 동작시킬 수 있게 되며 소자의 동작 신뢰성이 크게 향상된 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자 및 그 제조방법이 제공된다.