일반기술

강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자 및 그 제조방법

<원리 및 구성>본 기술은, 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자에 관한 것으로, 본 기술에 따른 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자에 있어서, 상기 강유전체 박막에 가해준 전기장과 상기 강유전체의 분극변위와의 관계를 도시한 이력곡선이 원점을 기준으로 비대칭성을 나타냄을 특징으로 한다. 이에 의해 에이징이 현저히 감소되고, 넓은 단일분극(unipolar) 제어범위를 갖는 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자가 제공된다.<특징 및 장점>본 기술에 따라, 강유전체박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자에 있어서, 상기 강유전체박막에 가해준 전기장과 상기 강유전체의 분극변위와의 관계를 도시한 이력곡선이 원점을 기준으로 비대칭성을 나타냄을 특징으로 하는 마이크로머신용 압전소자에 의해 달성된다. 한편, 상기 목적은 강유전체 박막을 이용한 마이크로머신용 압전소자의 제조방법에 있어서, 상기 강유전체 박막의 가해준 전기장과 분극변위와의 관계를 도시한 이력곡선이 원점을 기준으로 비대칭성을 갖도록 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로머신용 압전소자의 제조방법에 의해서도 달성된다.