일반기술

마이크로 전자공학, 광화학, X-ray 분광학, 및 기타 과학에 있어서 연구를 위한 만능 계측기 - Eximer 레이저

190-350 nm 의 방사선 파장 범위를 발생하는 eximer 분자를 기초로 한 레이저가 개발되어 많은 회사들에 의하여 생산되고 있다. 이것은 레이저의 변수(방사선 스펙트럼, 평균 출력, 맥동 에너지)가 전자공학, 광화학, X-ray 방사선의 발생을 위한 분야의 많은 적용에 그것들이 매력적이게 한다는 사실에 의한다. 그러나 사용시 야기되는 복잡성과 어려움은 주파수 전환 방식에 의한 garnet laser에 비교할 때 그것의 경쟁성을 해친다. 발간된 데이터의 분석과 우리들 자신의 경험에 의하면 가장 큰 어려움은 eximer laser에 있어서 짧은 시간 역전현상의 존재에 의한 것이다. 이것은 스펙트럼 발생 선택에 있어 복잡한 계획을 사용할 필요가 있게 만든다. eximer laser의 피할 수 없는 불리한 점은 작동 가스와 고려해야 할 크기(활성 매체에서 작은 저장 에너지)를 규칙적으로 변경해야 한다는 것이다.개발된 레이저는 UV 석판인쇄, 레이저 사진술(홀로그래피), X선 방사선 발생, UV 이메지 휘도의 증폭기 등에 적용될 것이다.