일반기술

RF 매처에 사용되는 임피던스 정합장치

본 발명은 RF 매처에 사용되는 임피던스 정합장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 반도체 제조 장비의 핵심부품인 매처에 관한 것으로, 특히 챔버의 임피던스 정합을 위한 임피던스 정합장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, RF 매처의 정합 소자인 에어 케패시터를 다중 접지 방법을 사용하여 제작함으로써 잦은 정역 동작 및 고전력 사용을 위한 접지 방법을 개선함으로써 RF 매처의 아크 및 접지의 소손의 문제로 인한 수명저하의 문제점을 해결할 수 있으며, 이를 통한 RF 플라즈마를 사용하는 반도체 제조 프로세스의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.본 발명은 RF 매처에 사용되는 임피던스 정합장치의 개패시터 고정 블레이드와 가변 블레이드에 있어서 , 상기 고정 블레이드와 가변 블레이드를 조립하기 위해서 고정형 지그에 블레이드 축의 흔들림을 방지하기 위한 축고정 나사를 조립하고, 상기 축고정 나사위에 접지휠이 설치되고, 상시 접지휠은 접지휠 얼라이너와 체결되고, 상기 접지휠에 축에 일정한 탄성을 주기위한 원통형의 탄성스프링이 설치되고, 상기 탄성스프링위에 접지베어링이 조립되는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 접지 방법은 접지베어링과 탄성스프링 및 접지휠이 3단 접지구조로 결합되는 것이 바람직하다. 상기 탄성스프링은 축이 아래/위로 움직이는 것을 방지하여 고정형 블레이드와 가변형 블레이드가 서로 부딪치는 것을 방지하기 위해 6개의 탄성날개가 일정하게 축을 받쳐주는 것을 특징으로 한다.