일반기술

웨이퍼 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법

웨이퍼 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 이 웨이퍼 이송장치는 모터에 구성된 이송 아암 또는 벨트의 1차 임펄스를 측정 저장한 후 2차 임펄스를 측정하여 1,2차 임펄스를 중첩으로 사용함으로써 모터 구동을 제어하는 입력성형기를 포함하여 구성된 진동감쇠장치가 구성되어 잔류 진동을 감쇠하는 것이다. 또한, 상기 웨이퍼의 이송방법은 입력성형기로 구성된 진동감쇠장치에 의해 상기 이송 아암 또는 벨트의 1차 임펄스를 측정하고, 상기 1차 임펄스를 저장한 후 2차 임펄스를 측정하여 저장하며, 상기 2차 임펄스를 저장한 후 저장된 1,2차 임펄스를 중첩하고, 상기 중첩 단계 후 중첩되어 감쇠된 임펄스로서 상기 모터의 구동을 제어하여 잔류진동을 감쇠하는 것이다.본 발명은 종래 웨이퍼 이송장치가 갖는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 구동 모터에 입력성형을 통한 진동감쇠장치를 적용함으로써 웨이퍼 위치 제어의 사이클 시간을 최적화하고, 웨이퍼 이송장치의 잔류 진동을 감소시키며, 웨이퍼 자중에 의한 웨이퍼 중앙의 쳐짐을 예방함과 아울러 면적을 최적화한 구조로 설계할 수 있고, 이에 따라 이송 아암의 불필요한 동작을 제거함으로써 작업라인에서 최적의 작업시간을 얻을 수 있는 것이다.