일반기술

엔코더형 전기적 용량센서

본 기술은 엔코더형 전기적 용량센서에 관한 것으로, 특히 본 기술의 용량센서는 고정 요소는 적어도 두 개 이상의 주기성 패턴을 갖으며, 이동 요소는 고정 요소에 대해 소정 간격을 두고 오버랩되는 적어도 두 개 이상의 주기성 패턴을 갖으며, 고정 물체 또는 이동 물체에 공급되는 교류 전원과, 고정 요소의 패턴과 이동 요소의 패턴 사이의 상대적 평행 이동에 따라 변화하는 전기적 용량 변화를 전기적 신호로 변환하는 변위 감지부와, 변위 감지부에서 감지된 변위 신호를 신호 처리하고 이를 디지털 신호로 변환하는 신호 처리부와, 신호 처리부에서 출력된 디지털 신호를 보정하고 고정 요소의 패턴과 이동 요소의 패턴 사이의 대변위와 연속성 미세 변위를 계산하여 출력하는 마이크로 프로세서를 포함한다.<개발된 기술의 독자성>-엔코더 타입 전기용량형 센서에 접촉식 방법을 도입한 것은 세계 최초-기존의 초정밀 전기용량형 센서에 비해 민감도 및 측정범위가 더 큼-기존의 엔코더형 전기용량형 센서의 단점이었던 저민감도 특성 해결-기존의 접촉식 전기용량 센서와 달리 접촉박막을 DLC로 이용하므로 접촉시 발생할 수 있는 마찰 및 마모 특성을 개선 -센서 제작 기판의 크기에 따라 더 넓은 측정 범위를 가질 수 있음 -센서 전극 내 grating의 간격 및 접촉 매질의 두께를 작게 함에 따라 더욱 작은 미세 변 위 측정이 가능