일반기술

광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블

본 기술은 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 관한 것으로서, 본 기술에 의한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블은 PSD 광센서를 이용함에 의해, 고가의 LVDT을 사용하지 않고도 이송스테이지의 위치를 측정함과 동시에 수렴하거나 초기화 작업에서 홈 포지션작업을 수행할 수 있으며, 광센서는 비접촉식이므로 마모로 인한 측정오차가 생김을 방지할 수 있어 외부의 영향을 거의 받지 않으며, 외형의 크기가 작아 테이블안으로의 배치가 가능하여 테이블을 소형화 할 수 있다.본 기술은 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 관한 것으로서, 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 관한 것이다. 현대 전자산업의 고속발전으로 고성능, 고집적, 단소화한 제품들이 다량으로 개발생산되고 있으나, 이러한 제품들의 생산과정에는 기본적으로 부품의 조립 및 성능시험을 위한 고정밀도의 위치결정장치가 필요하다. 근래에는 세 개의 축이 동일한 평면상에서 병렬로 배열된 병렬형 XYθ테이블(일명, '병렬형 회전 및 병진운동 테이블'이라 함)이 개발되어 있다. 그런데 이와 같이 구성된 종래의 병렬형 XYθ테이블에서는 엑추에이터의 오차를 측정함과 동시에 수렴하거나 초기화 작업에서 홈 포지션작업을 수행하기 위해 고가의 LVDT를 사용하므로 전체적인 병렬형 XYθ테이블의 제조비용이 높아지게 된다는 문제점이 있었다.또한, LVDT는 접촉식 센서로서, 피측정물체의 가공오차 및 마모 등 여러 가지 요인으로 인하여 측정상의 오차를 갖게 되며, 또 외형이 길어 병렬형 XYθ테이블에서 배치가 적합하지 않다는 문제점이 있었다. 따라서, 본 기술은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 저가이고 외부요인의 영향을 받지 않으며 소형으로 배치가 용이한 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블을 제공하는데 있다.본 기술에 의한 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블은 테이블 베드의 상측에 이송스테이지가 결합되고, 상기 테이블 베드의 측부에는 상기 이송스테이지를 회전 및 직선이송하도록 엑추에이터가 결합된 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 있어서, 테이블 베드의 상측에는 이송스테이지의 위치이동을 감지하도록 발광부에서 나온 광을 받아 수광점의 위치를 측정하는 PSD(Position Sensitive Detector)광센서가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.