일반기술

유전층 직접부착형 정전 척의 제조방법

본 발명은 접합제를 사용하지 않고 세라믹판위에 유전층을 직접 도포하는 공정을 포함하는 정전 척의 제조방법에 관한 것으로서, 산화칼슘, 알루미나, 실리카 , 산화붕소로 제조된 결정화 유리 분말을 유전층 재료로 제공하며, 또한 세라믹 기판위에 전극층을 형성한 후 예비소결하는 공정과, 결정화유리분말을 밀링하여 슬러리를 형성한 후 탈포하는 공정과, 상기의 슬러리를 전극이 예비소결된 세라믹 기판 위에 테이프캐스팅 한 후 건조시켜 유전층을 형성하는 공정과, 상기의 유전층과 전극층을 소결하는 공정을 포함하는 제조방법을 제공함으로써 종래의 제조방법에 비하여 공정의 단순화로 제조원가를 낮출 수 있으며, 별도의 접합제를 사용하지 않기 때문에 종래의 정전 척보다 열에 강하며 입자오염이 낮은 효과가 있다.본 발명은 특정 조성의 결정화유리를 유전층 재료로 사용함으로써, 정전 척으로 사용되기에 적합한 물성을 갖으면서 세라믹판 상부에 접합하여 웨이퍼 공정에 수반되는 온도변화에도 안정된 접합성을 유지할 수 있는 유전층을 제공하는 것이며 또한, 접합제를 사용하지 않고 세라믹판위에 유전층을 직접 도포하는 공정을 포함하는 정전척의 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 유전층 재료로 개발된 CASB 결정화유리는 유전상수와 전기비저항 특성이 정전 척으로 사용되기에 적합하며, 세라믹 기판과의 접합성이 우수할 뿐만 아니라 열팽창계수가 알루미나 세라믹기판과 유사하여 다양한 온도변화 조건에서도 안정성을 확보할 수 있다. 또한 본 발명의 정전척 제조방법은 종래의 제조방법에 비하여 공정의 단순화로 제조원가를 낮출 수 있으며, 별도의 접합제를 사용하지 않기 때문에 종래의 정전 척보다 열에 강하며 입자오염이 낮다.