일반기술

실리콘 압력 센서 특성측정 장치

실리콘 압력센서의 특정값을 측정하기 위한 장치로서, 특히 피측정 대상인 복수개의 실리콘 압력센서를 각각에 설치하여 고정하는 복수개의 픽스츄어와, 상기 각 픽스츄어에 설치된 피측정 실리콘 압력센서를 고정하는 클램프와, 상기 복수개의 픽스츄어에 고정된 피측정 실리콘 압력센서에 작동입력을 작용시키기 위한 작동유체 저장탱크와, 상기 작동유체의 저장탱크의 작동유체가 상기 복수개의 피측정 실리콘 압력센서에 동일한 조건으로 제공되도록 상기 각 픽스츄어와 상기 작동유체의 저장탱크를 병렬로 연결하는 작동유체 공급라인과, 상기 각 작동유체 공급라인마다 설치되어 상기 작동유체 공급원에서 각 픽스츄어에 공급되는 작동유체를 선택적으로 공급 또는 차단하는 개폐밸브수단 및 상기 복수개의 피측정 실리콘 압력센서의 출력단자를 연결하여 작동유체의 작용에 의한 피측정 실리콘 압력센서의 출력값을 측정하는 계측부를 포함하는 구성으로 되어 실리콘 압력센서를 여러개 동시에 측정할 수 있고, 서로 다른 종류의 여러개의 실리콘 압력센서를 하나의 측정장비에서 동시에 그 특성치를 측정하여 서로 비교할 수 있는 것이다.실리콘 압력센서의 특정값을 측정하기 위한 장치로서, 본 발명에 의하면, 실리콘 압력센서를 여러개 동시에 측정할 수 있고, 서로 다른 종류의 여러개의 실리콘 압력센서를 하나의 측정장비에서 동시에 그 특성치를 측정하여 서로 비교할 수 있어 측정능률을 높일 수 있다. 또한 복수개의 압력센서를 동일한 조건으로 동시에 측정할 수 있으므로 측정신뢰성과 측정효율을 높일 수 있고, 다른 압력센서의 특성을 서로 비교하기가 용이해지며 서로 다른 특성을 가진 압력센서를 하나의 장비에서 동시에 측정하여 비교하기가 편리한 장점이 있다.