일반기술

반도체 제조장비의 파티클 측정장치

반도체 제조장비의 파티클 측정장치에 관한 것으로, 특히 진공펌프에 의해 내부압력을 저압상태로 유지하여 피측정공간의 파티클을 포함한 유체를 확산에 의해 내부로 유입되게 하는 진공챔버와, 상기 진공챔버를 통과하는 유체에 레이저빔을 조사하여 유체에 포함된 파티클의 수를 광학적으로 검출하는 파티클센서를 포함하고, 상기 파티클센서의 선단에 진공챔버 내의 유체의 흐름을 파티클빔으로 형성시키는 1쌍의 공기역학적 렌즈가 구비된 반도체 제조장비의 파티클 측정장치이다.본 발명에 따르면, 측정공간인 진공챔버의 내부압력이 진공챔버에 의해 저압으로 유지되므로 피측정공간의 피측정대상유체와 그에 포함된 파티클의 확산에 의해 진공챔버안으로 유입되어 측정하게 되므로 실제 반도체 제조장비에서의 작업조건 동일한 조건에서 파티클을 검출하게 되어 측정의 재현성을 높일 수 있고, 아울러 파티클을 공기역학적 렌즈에 의해 빔형태로 통과시키므로 측정의 정확도나 신뢰성을 높일 수 있다. 즉, 저압상태에서도 파티클 측정효율이나 신뢰성을 높일 수 있게 된다.