일반기술

디지털 방식에 의한 매처의 제어장치

본 발명은 반도체 제조 장비의 핵심 부품인 매처(Matcher)의 제어장치에 관한 것으로, 특히 디지털 제어방식에 의한 메처의 제어장치에 관한 것이다.본 발명은 제어장치; 기어; 모터단; 정합소자단과, 크기오차, 위상오차, Load모터의 위치 및 Tune모터의 위치와 같은 매처 및 챔버의 상태를 나타내는 파라미터값을 문자로 표시하여 주는 LCD표시장치와; 아날로그 입력신호를 디지털 신호로 변환시키는 AD컨버터와 변환된 신호를 디지털 방식으로 신호처리하여 디지털 출력신호를 생성하는 프로세서(Processor)와 디지털 출력신호를 아날로그 출력신호로 변환시키는 DA(Digital to Analog)컨버터로 구성되고 LCD모드값에 따라 상기의 LCD표시장치에 LCD모드에 대응하는 데이터를 출력해주는 CPU를 포함하는 통상의 매처제어 장치에 있어서, 공정조건에 따른 프리세트값, 이득값 및 LCD모드값을 설정할 수 있는 키입력수단과; 상기 키입력수단에 의해 설정된 프리세트값, 이득값 및 위상/크기오차값을 이용하여 매뉴얼모드, 프리세트메뉴, 자동모드에 따라 해당하는 모터의 제어값을 출력하는 CPU로 구성되고; 상기 LCD표시장치는 프리셋트값을 설정하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 제어장치를 디지털화하여 회로의 유연성을 확보하고 LCD(Liquid Crystal Display)모듈을 장착하여 공정상태를 실시간 모니터링하여 사용자의 편의성을 도모할 수 있고 유지 보수가 용이하므로 반도체의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.제어장치를 디지털화하여 회로의 유연성을 확보하고 LCD(Liquid Crystal Display)모듈을 장착하여 공정 상태를 실시간 모니터링하여 사용자의 편의성을 도모할 수 있고 유지 보수가 용이하므로 반도체의 생산성을 크게 향상시킬 수 있고, 다양한 프리세트 값의 선택 및 입력이 가능하므로, 기존의 매처가 갖는 초기 공정의 불안정성을 개선하여 임피던스 정합시간이 향상된다. 또한 LCD 모듈을 장착하여 공정상태를 실시간 모니터링 할 수가 있으므로 매처의 제어장치의 사용이 편리해지는 효과가 있다.