일반기술

고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 이의 제작방법

고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 이의 제작방법에 대해 개시한다. 본 발명의 고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 마이크로렌즈는 도파로 끝단의 코어를 포함한 코어 주변을 감광재질로 코팅하는 단계; 상기 도파로 끝단으로 코어를 통해 확장하고자 하는 영역까지 빔을 조사시키는 단계; 상기 빔에 조사된 감광재질을 에칭하여 코어 주변을 노출시키는 단계; 상기 노출된 코어 주변을 수소 또는 이중수소 처리하여 코어내부로 확산시키는 단계; 및 상기 수소처리된 영역에 굴절률을 증가시키기 위해 도파로 외부에서 빔을 조사시키는 단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 제조시 재현성이 뛰어나고 대량생산이 가능하며 제작 비용이 비교적 싸기 때문에 이를 적용하는 광통신시스템 및 광통신소자에 유용하게 이용될 수 있다.고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 이의 제작방법에 대해 개시한다. 본 발명의 고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 마이크로렌즈는 도파로 끝단의 코어를 포함한 코어 주변을 감광재질로 코팅하는 단계; 상기 도파로 끝단으로 코어를 통해 확장하고자 하는 영역까지 빔을 조사시키는 단계; 상기 빔에 조사된 감광재질을 에칭하여 코어 주변을 노출시키는 단계; 상기 노출된 코어 주변을 수소 또는 이중수소 처리하여 코어내부로 확산시키는 단계; 및 상기 수소처리된 영역에 굴절률을 증가시키기 위해 도파로 외부에서 빔을 조사시키는 단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 제조시 재현성이 뛰어나고 대량생산이 가능하며 제작 비용이 비교적 싸기 때문에 이를 적용하는 광통신시스템 및 광통신소자에 유용하게 이용될 수 있다.