일반기술

반도체 패키지의 세척 장치

본 발명은 반도체 패키지와 같은 소형 전자부품의 BGA 공정에서 발생하는 플럭스 등의 이물질을 세척하는 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 반도체 패키지와 같은 제품을 상하부 콘베이어벨트(7,9)에 실어 세척수가 저장된 세척조(22)안으로 이송시키면서 초음파 발생장치(26)에서 발생시킨 초음파로써 그 제품의 이물질을 세척하고, 초음파세척된 제품을 린싱부(30)를 통과시키면서 2차로 세척한 다음, 송풍기(46)의 공기를 공기분사 노즐(42a,44a)을 통하여 제품의 상하측으로 분사시켜 제품에 묻어 있는 물기를 1차로 제거하고, 물기가 1차 제거된 제품을 하부 콘베이어벨트(9)에 실어 상하측에 구비된 1쌍의 전열히터(52)를 통과시키면서 그 전열히터(52)의 열로써 제품에 잔류하는 수분을 완전히 제거한다. 이렇게 구성된 본 발명의 세척장치는 인체에 무해한 초음파로써 이물질을 세척하므로 작업환경을 개선할 수 있고, 콘베이어벨트가 초음파 세척부를 통과할 수 있도록 구조 개선함으로써 연속적인 세척작업을 수행할 수 있어 공정효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 콘베이어벨트의 구조를 개선하여 작은 제품도 낙하시킴없이 안정되게 세척할 수 있다.케이싱(1)에 지지되어 모터에 의해 회전하는 복수개의 이송롤러(3)들에 의해 무한궤도식으로 이동하는 하부 콘베이어벨트(9)와; 상기 하부 콘베이어벨트(9)의 위쪽에서 하부 콘베이어벨트(9)와 포개어지게 배치되고, 상기 모터에 의해 회전하는 복수개의 이송롤러(5)들에 의해 지지되어 무한궤도식으로 이동하는 상부 콘베이어벨트(7)와; 서로 포개어져 이동하는 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)가 측벽을 관통하여 통과하게 되어 있고, 내부에는 세척수 공급펌프(36)에서 공급되는 세척수를 일정수위만큼 저장한 세척조(22)와, 상기 세척조(22) 내부에 설치되어 세척조(22)를 통과하는 제품에 초음파를 작용시켜 초음파 세척하는 초음파 발생장치(26)와, 상기 세척조(22)의 일정 수위이상으로 넘쳐 흘러나오는 세척수를 받아서 저장하는 저장조(24)로 이루어진 초음파 세척부(20)와; 상기 초음파 세척부(20)에 연속하여 배치되어 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)를 수평방향으로 통과시키며, 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)의 상하측에서 상기 각 콘베이어벨트(7,9)쪽으로 향하는 복수개의 분사노즐(32a)을 구비한 복수개의 노즐관(32,34)과, 상기 노즐관(32,34)에 세척수를 공급하는 펌프(36)로 이루어진 린싱부(30)와; 상기 린싱부(30)에 연속하여 배치되어 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)를 수평방향으로 통과시키고, 상기 상하부 콘베이어벨트(7,9)의 상하측에서 상기 각 콘 베이어벨트(7,9)쪽으로 향하는 복수개의 공기분사노즐(42a,44a)을 구비한 복수개의 공기공급관(42,44)과, 상기 공기공급관(42,44)에 압축공기를 공급하는 송풍기(46)로 이루어진 공기분사 건조부(40)와; 상기 공기분사 건조부(40)에 연속하여 배치되어 상기 하부 콘베이어벨트(9)를 수평방향으로 통과시키고, 상기 하부 콘베이어벨트(9)의 상하측에 각각 전열히터(52)를 구비하여 하부 콘베이어벨트(9)에 실려 이송되는 제품을 가열건조시키는 가열건조부(50);를 포함한 반도체 패키지의 세척장치.