일반기술

저온소성방식으로 세라믹히터를 제조하는 방법

본 발명은 1400℃ 이하의 온도에서 메탈라이징 페이스트(metallizing paste)를 제조하기 위해 액상 소결조제인 은, 구리 및 니켈 등을 소량첨가하므로써 텅스텐계의 중합금의 소결시 텅스텐의 소결을 활성화시켜 저온소성방식으로 세라믹히터를 제조하는 방법에 관한 것으로서, Al2O3-장석-CaO-SiO2-MgO 중량％로 이루어진 세라믹기판의 조성물과 텅스텐-몰리브텐-니켈-은-구리 중량％로 이루어진 메탈라이징 페이스트의 조성물을 혼합한 후 세라믹 적층 및 동시소성을 이용하여 1200 내지 1500℃의 온도에서 제조되는 것을 특징으로 한다. 기존 세라믹히터의 경우 메탈라이징용 발열금속으로서 텅스텐, 몰리브덴계 페이스트를 사용하기 때문에 이들 페이스트를 세라믹 기판에 동시 소성하기 위해서는 1500~1600℃ 의 고온을 가열하여야 하기 때문에 히터의 제조설비에 많은 비용이 소요되며, 이로 인해서 제조원가의 상승을 초래하는 문제점이 있었으나, 본 발명의 저온소성방식으로 세라믹히터를 제조하는 방법은, 1400℃ 이하의 온도에서 메탈라이징 페이스트를 제조하기 위해 액상 소결조제인 은. 구리 및 니켈 등을 소량첨가하여 텅스텐계의 중합금의 소결시 텅스텐의 소결을 활성화시켜 저온소성용 텅스텐 페이스트를 제조함으로써 히터의 제조원가를 절함할 수 있는 발명이다.