일반기술

다변수제어방법및장치

본 기술은 반도체 검사 장치에 관한 것으로, 특히 온도에 관련한 환경에서, 반도체 온도응력 검사를 수행하도록 하는 다변수 제어방법 및 장치에 관한 것이다. 다변수제어방법 및 장치는 온도쳄버를 플랜트로 간주하고, 이 시스템의 성능을 최적화시켜 쳄버내의 온도분포를 정밀하게 한 것으로, 제어부에 대하여 적어도 하나이상의 출력과 입력으로 되는 다변수 제어모델로 간주하여 출력과 입력을 테스트하여 온도모델을 결정하고, 온도모델에 따른 파라메타를 추정하여 시스템식별을 하며, 이후 최적이득, 최적상태추정기 이득을 계산하고 이에 근거하여 디지탈 제어파라메타로 변환하여 최적제어를 한다.본 기술은 시스템의 설계에 따라 쳄버의 온도를 정밀하게 조절하도록 온도모델에 대한 파라메타추정, 시스템 식별을 하게 되고, 성능지수를 최소화하면서 안정도, 강인성을 유지하도록 다변수 제어를 적용하므로 제어부에 관련하여 가제어성, 안정도, 근궤적, 최대오버슈트,상승시간, 정착시간들에 대한 모든 주변 환경을 고려한 최적의 제어를 달성할수 있다. 이에 따라 쳄버내온도는 내부 온도차에 따른 외란 제어부의 잡음, 정상오차 등을 최소화하여 신뢰성있는 온도제어를 달성하고 있다.