일반기술

다층산화물 인공격자를 갖는 소자 및 이의 제조방법

다층산화물 인공격자를 갖는 소자 및 이의 제조방법에 대해 개시한다. 본 발명은 기판과, 상기 기판 상에 도포되어 선택적으로 패터닝되는 유전체박막과, 상기 유전체박막 상에 적층 및 패터닝된 상부전극으로 이루어진 소자 혹은 기판과, 상기 기판 상에 적층되며 선택적으로 패터닝되는 하부전극과, 상기 하부전극 상부에 도포되어 선택적으로 패터닝되는 유전체박막과, 상기 유전체박막 상에 적층 및 패터닝된 상부전극으로 이루어진 소자에 적용되는데, 상기 유전체박막은 단위격자두께(∼0.4 ㎚)로 증착을 수행하는데, 서로 다른 유전상수를 갖는 적어도 2개 이상의 유전체물질을 단위격자두께(∼0.4 ㎚) 내지 20 ㎚ 범위 내에서 적어도 1회 이상 반복 적층하거나 응용 소자에 맞게끔 특정 배열로 적층하여서 이루어진 동일 방위성을 갖는 하나의 인공격자를 형성한 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 단위격자두께의 유전체 계면에서의 응력을 이용하여 유전율 및 가변성을 향상시킴으로써 고속스위칭 반도체 소자, 고주파 응답 통신소자 등에 이용할 수 있다. 또한, 고유전율에 의한 콤팩트화 및 저전압 구동이 가능하다.기판과, 상기 기판 상에 적층되며 패터닝되는 하부전극과, 상기 하부전극 상부에 도포되어 패터닝되며 페로브스카이트 구조를 가지는 BATIO 3 , SRTIO 3 , KNBO 3 , KTAO 3 , PBTIO 3 , PBZRO 3 , CATIO 3 에서 선택된 어느 하나인 유전체박막과, 상기 유전체박막 상에 적층되어 패터닝된 상부전극으로 이루어진 다층산화물 인공격자를 갖는 소자에 있어서, 서로 다른 유전상수를 갖는 유전체박막 2개를 2층씩 적층하여 전체적으로 4개의 단위격자로 이루어지는 단위격자를 이루고, 이 단위격자를 1회 이상 적층배열하여서 이루어진 동일 방위성을 갖는 하나의 인공격자를 형성한 것을 특징으로 하는 다층산화물 인공격자를 갖는 소자.