일반기술

유브이 램프를 이용한 다결정 실리콘박막 제조장치 및 방법

*원리 및 구성본 기술은 비정질 규소를 저온에서 결정하기 위한 새로운 방법을 제시한다. 규소박막 결정화 조직의 조대화를 위해서는 박막의 결정핵크기를 조절하는 것이 중요하며 이로부터 결정성장을 유도하는 것이 핵심이다. 본 기술은 결정화를 위하여 UV lamp reflector(자외선램프 반사판)을 장치하여 ultra violet(자외선)을 비정질 규소박막에 조사하여 결정화를 진행한다. 비정질 규소의 핵생성을 마스크를 이용함으로써 핵생성의 밀도를 조절할 수 있으므로 측면으로 결정성장을 이룰 수 있게 된다. *배경 기술은 기존의 결정화의 단점을 극복하였다.*기술의 장점첫째, 결정화된 규소박막은 다양한 응용분야를 가질 수 있다. 주로 박막트랜지스터, 박막센서, 태양전지와 같은 전기전자소자로 응용될 수 있다.둘째, 본 기술을 통하여 PET, PC와 같은 고분자 플라스틱 기판위에 성장된 비정질 규소를 결정화 할 수 있으며 또한 기존에 다수 사용되고 있는 XeCl excimer laser 결정화 방법을 대치할 수 있는 새로운 방법이다. 이로써 고가의 로열티 지불에 대한 국가경쟁력을 가질 수 있게 된다. *적용분야박막트랜지스터, 박막센서, 태양전지와 같은 전기전자소자로 응용