일반기술

모듈식 초대면적 플라스마 발생장치

* 원리 및 구성 본 기술은 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치에 관한 것으로서, 식각 기판이 장착되는 스테이지가 구비된 반응챔버와, 상기 반응챔버 내에서 나란히 배치되어 있으며 일측은 전원에 타측은 접지되어 있는 다수의 안테나 봉과, 상기 안테나 봉을 중심으로 양쪽에 각각 배치되는 자성체로 구성된 초대면적 플라스마 발생장치에 있어서, 길이방향 양단에 관통공(1431)이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈(1432)이 형성되어 있는 조립 케이스(1430)과, 상기 조립 케이스(1430)의 홈(1432) 위에 덮여진 쿼츠 창(1433)과, 상기 조립 케이스(1430)의 관통공(1431)에 끼워져서 설치되는 안테나 봉(1410)과, 상기 안테나 봉(1410)의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관(1420)으로 구성되며, 반응챔버(1100)를 관통하여 설치되어 있는 안테나 조립체(1400)와; 길이방향 양단에 관통공(1531)이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈(1532)이 형성되어 있는 조립 케이스(1530)과, 상기 조립 케이스(1530)의 홈(1532) 위에 덮여진 쿼츠 창(1533)과, 상기 조립 케이스(1530)의 관통공(1531)에 끼워져 설치되는 자성체(1510)와, 상기 자성체(1510)의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관(1520)으로 구성되며, 반응챔버(1100)를 관통하여 설치되어 있는 자성체 조립체(1500)와; 를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 한다* 배경 내장형 병렬 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 기존의 대면적용 선형 안테나가 극 초대면적으로의 확장 시 생길 수 있는 정상파 효과를 없앤 병렬 안테나이다. 이는 기판의 면적이 현재보다 더욱더 커져도 각각의 플라즈마 소오스를 더하거나 보강함으로써 확장성이 가능한 플라즈마 소오스라 할 수 있겠다. 이러한 소스위에 자장을 인가함으로써 대면적 플라즈마에서 가장 중요한 플라즈마 균일도를 획기적으로 증가시킬 수 있었다* 중요성 및 독창성TFT-LCD 그리고 PDP등의 초대면적 기판을 기본적으로 사용하는 디스플레이 산업에 있어 고밀도 고효율, 그리고 높은 플라즈마 균일도를 가진 소오스의 필요성이라는 측면에서 고려해 보았을 때, 자장강화된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스는 이러한 산업에 있어 핵심적인 기술중에 하나이며, 기술적인 면에서 대면적화하기 용이하다* 적용제품 및 경쟁제품 - 반도체 식각용 장비 및 공정* 주요 적용제품 - 대면적의 평판 패널 디스플레이(FPD) 장치의 제조공정, 반도체 소자의 제조공정* 특징 및 장점 - 첫째, 반도체 소자의 제조공정 뿐만 아니라 대면적의 평판 패널 디스플레이(FPD) 장치의 제조공정에서 대면적에 걸친 균일한 플라즈마 형성에 이르기 까지 본 기술은 부식가스에 의해 쿼츠 창이 손상되었을 경우에도 수지관에 의해 진공을 유지할 수 있어 그 기능의 연속성을 유지할 수 있다.- 둘째, 교체 및 유지보수가 용이하다