일반기술

태양전지 ＤＬＣ 반사 방지막의 제조방법

본 기술은 실리콘을 기판으로 하는 태양전지의 표면상에 비정질 물질인 다이아몬드상 카본(DIAMOND-LIKE CARBON; DLC) 박막층을 마이크로웨이브 PECVD(PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION)법 또는 RF-PECVD 증착법을 이용하여 증착시킴으로서 태양전지의 반사 방지막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 태양전지 DLC 반사 방지막은 실리콘계 태양전지의 표면 반사율을 줄여서 단락 전류밀도를 향상시키는 효과를 얻음과 동시에 변환 효율 향상을 기대할 수 있으며, DLC 박막의 고유특성인 단단함 때문에 실리콘 표면을 패시베이션 함으로써, 표면 재결합 속도를 낮추어 소수 반송자의 수명을 연장시켜 변환효율 향상효과를 기대할 수 있다. 그리고, 비교적 간단한 제조 공정과 낮은 가격으로 효율을 올릴 수 있기 때문에 태양전지의 광범위한 실용화에도 기여할 수 있으며, 태양전지 외에 저반사율이 필수적인 기타 광학 기기에도 응용이 가능하다.실리콘을 기판으로 하는 태양전지의 표면상에 비정질 물질인 DLC 박막층을 마이크로웨이브 PECVD법 또는 RF-PECVD 증착법을 이용하여 증착하는 것을 특징으로 하는 태양전지 DLC 반사 방지막의 제조방법. 실리콘을 기판으로 하는 태양전지의 표면상에 비정질 물질인 다이아몬드상 카본(DIAMOND-LIKE CARBON; DLC) 박막층을 마이크로웨이브 PECVD(PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION)법 또는 RF-PECVD 증착법을 이용하여 증착시킴으로서 태양전지의 반사 방지막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 태양전지 DLC 반사 방지막은 실리콘계 태양전지의 표면 반사율을 줄여서 단락 전류밀도를 향상시키는 효과를 얻음과 동시에 변환 효율 향상을 기대할 수 있으며, DLC 박막의 고유특성인 단단함 때문에 실리콘 표면을 패시베이션 함으로써, 표면 재결합 속도를 낮추어 소수 반송자의 수명을 연장시켜 변환효율 향상효과를 기대할 수 있다. 그리고, 비교적 간단한 제조 공정과 낮은 가격으로 효율을 올릴 수 있기 때문에 태양전지의 광범위한 실용화에도 기여할 수 있으며, 태양전지 외에 저반사율이 필수적인 기타 광학 기기에도 응용이 가능하다.