일반기술
마이크로칩 검사를 위한 광학 시스템
이 연구의 목표는 마이크로칩 표면을 시험된 에탈론(etalon) 칩의 표면과 비교하여 그 결함을 검출할 수 있는 광학 시스템을 개발하는 것이다. 이 시스템은 시험하지 않은 표면과 에탈론 표면을 반영하는 두개의 레이저빔의 상 구조에 바탕을 두고 있다. 그 결과, 104x104의 높은 분해능을 가진 이미지가 얻어진다. 예비 산출 결과에 따르면, 이러한 기술은 크기가 0.3mm만큼 작은 결함을 검출하는데 사용할 수 있다. 또한 이 프로젝트는 20 에서 30mm의 범위에서 작동하는 IR원의 제작을 목표로 하는 연구의 타당성 조사를 수행할 것을 제안하고 있다. 이러한 IR원은 수 마이크로미터의 깊이까지 마이크로칩의 벌크(bulk)를 검사할 수 있다.20 에서 30 mm에서 작동하는 원형 레이저원 개발
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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