일반기술

초고주파용 자성박막의 재료와 그를 이용한 자성박막 및 그 제조방법

본 기술의 목적은 인덕터 제작시 전체회로 내에 차지하는 면적을 극소화시키면서 원하는 L 값을 얻을 수 있어 이동통신기기의 소형경량화에 크게 기여할 수 있는 초고주파용 자성박막 재료와 그를 이용한 자성박막 및 그 제조방법을 제공하는 것이다. 본 기술은 2GHz이상의 초고주파에서 동작할 수 있는 초고주파용 자성박막의 재료와 그를 이용한 자성박막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 초고주파용 자성박막 재료는 가장 높은 자화(Ms)와 가장 작은 단축 이방성장(Han) 값을 만족함과 아울러 최소의 마그네토스트릭션 값을 가지는 강자성 박막 금속재료를 이용하는 것을 특징으로 한다.본 발명은 2GHz이상의 초고주파에서 동작할 수 있는 초고주파용 자성박막의 재료와 그를 이용한 자성박막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 기술에 의하면, GHz 주파수에서 가능한 높은 자화율을 갖는 자성박막층을 비자성 절연박막층과 결합시켜 다층구조로 된 고주파용 자성박막재료를 얻을 수 있으므로 MHz∼GHz 주파수 응용에 사용되는 미소 자성 박막소자에 바로 활용이 가능하고, 박막 인덕터나 변압기를 이용한 소형의 전력원 제작을 통해 휴대용 컴퓨터의 소형경량화에 크게 기여할 수 있게 된다.