일반기술

탄소 나노튜브 합성 방법 및 이에 이용되는 탄소 나노튜브합성 장치

본 기술은 탄소 나노튜브(carbon nanotubes) 합성 방법 및 이에 이용되는 탄소 나노튜브 합성 장치를 개시한다. 본 발명은 촉매를 반응기 내에 도입하고, 마이크로웨이브 방사(microwave irradiation)에 의한 가열 또는 전자기 유도 가열(inductive heating), RF 가열 또는 레이저(laser)를 이용한 가열법 등을 이용하여 반응기 내의 촉매를 선택적으로 국부적 가열하며, 촉매 상에 탄소 소오스(carbon source) 가스, 또는 탄소 소오스 가스와 황화 수소 가스, 탄소 소오스 가스와 수소가스 또는 불활성 가스 등을 함께 제공하여, 국부 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 탄소 나노튜브 합성 방법을 제공한다. 그리고, 이에 이용되는 탄소 나노튜브 합성 장치를 제공한다.본 기술에 따르면, 반응기 전체를 가열하여 높은 온도 범위에서 합성하던 기존의 방법을 개선하여 반응기 전체 온도를 보다 낮은 온도로 유지하며 탄소 나노튜브를 합성할 수 있다. 이때, 반응기 전체 온도를 낮게 유지하더라도, 탄소 나노튜브를 합성하는 데 요구되는 온도는 촉매를 선택적으로 가열하는 국부적 가열 방식에 의해서 제공될 수 있다. 따라서, 높은 온도 조건에서 사용이 제한되던 유리 또는 플라스틱과 같은 고분자 물질로 이루어지는 기판 또는 담체를 이용할 수 있다.