일반기술
산업적 용도의 범용 500 W Excimer 레이저
산업용 소형 500W excimer 레이저가 개발되었다. 이 유일한 레이저 제작은 출력 펄스 에너지와 펄스 반복율를 다르게 조합할 수 있게 해준다. 그리하여 이 레이저의 잠재 사용자들은 필요한 레이저 파라미터의 최적 조합을 선택할 수 있다.excimer를 이용한 처리에 대한 산업기준을 만족하기 위해 필요한 사용자 규격에 따라 강력한(~500W) excimer 레이저의 개발
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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