일반기술

솔 코팅법에 의한 란탄함유 티탄산 비스무스 박막의 경제적인 제조 방법

본 기술은 솔(sol) 코팅법을 이용한 란탄 함유 티탄산 비스무스 박막의 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 란탄, 비스무스 및 티탄을 각각 함유하는 유기 또는 무기 염들을 용제에 용해시켜 Bi:La:Ti가 3.33 내지 3.9 : 0.55 내지 1.05 : 3 범위의 몰비로 혼합된 솔(sol)을 형성하고, 이 솔을 기재 상에 코팅한 후 건조 및 열처리 산화시켜 균일한 결정 성장방향에 따른 균일한 강유전 특성과 피로현상에 대한 내구성이 우수한 Bi4-xLaxTi3O12 (x=0.55 ∼ 1.05) 박막을 경제적으로 대량 생산할 수 있다.본 기술에 따라 제조된 란탄 함유 티탄산 비스무스 박막은 장기간의 스위칭에도 피로 현상이 나타나지 않고 높은 잔류분극값을 보이는 강유전 박막으로서, 본 기술의 방법은 타겟 제작을 위한 원료 물질의 성형 및 소성 공정이 필요 없어 원료 비용이 적으며, 박막 조성을 화학양론적으로 제어하는 것이 용이하고, 박막의 결정성장방향을 균일하게 유지하여 품질 변폭에 따른 불량을 억제할 수 있고, 또한 200 ℃ 이하의 비교적 저온인 기초 용해 장비만을 필요로 하며, 고진공이 필요없고, 대면적 코팅이 용이하여, 란탄 함유 티탄산 비스무스 박막의 대량 생산에 경제적이고 효과적인 방법이다.