일반기술

내전극 정전 결합형 고분자 박막 제조 장치

본 발명은 가스를 이온화시키거나 전자 충돌을 발생시키기 위한 방전 에너지 문제, 박막 퇴적 문제 및 퇴적된 박막이 온도 상승으로 변질되거나 활성화되는 것을 해결하고자 한다.본 발명은 가스를 이온화시키기거나 전자 충돌을 발생시키기 위한 방전 에너지를 최소화하고 박막의 퇴적을 고르게 하며 퇴적된 박막이 온도 상승으로 변질되거나 활성화되는 것을 방지할 수 있도록 한 내전극 정전 결합형 고분자 박막 제조 장치에 관한 것으로서, 최저의 방전 에너지 수준에서 안정한 방전을 수행하도록 하기 위해서 방전 전극을 방전 가스에 노출시키고, 이온화된 입자들이 반응 영역에서 방전 영역으로 역류되는 것을 막기 위해서 알루미늄 노즐을 방전 영역과 반응 영역의 연통 부위에서 반응 영역으로 돌출되도록 형성하고, 박막이 퇴적되는 기판에 냉각수 유로를 형성하여 퇴적된 입자가 기판의 온도 상승에 의해 변질되거나 활성화 되는 것을 최소화함으로써, 단량체인 모노머의 분해를 최소화 할 수 있으며 따라서 제작된 박막 자체가 모노머 고유의 특성을 유지하여 센서용 감지막이나 리소그래피용 레지스트 및 광학 박막 등을 용이하게 제조할 수 있는 것이다.본 발명은 캐리어 가스를 유입하여 방전시키는 방전관과 상기 방전관 하부에 상기 방전관과 연통되도록 설치되고 단량체인 모노머 가스를 유입하여 소정 기판틀 위에 놓여지는 기판에 고분자 박막을 퇴적 형성시키는 반응기를 구비하는 플라즈마 중합 장치에 있어서, 상기 캐리어 가스를 방전시키기 위하여 상기 방전관 상하의 양단 부위에 상기 캐리어 가스에 노출되도록 방전 전극을 형성한 것을 특징으로 하는 내전극 정전 결합형 고분자 박막 제조 장치를 특징으로 한다.본 발명은 단량체의 분해를 최소화하여 단량체의 고유의 특성을 유지하는 박막의 제작이 가능하여 물리적으로 화학적으로매우 안전된 박막을 형성할 수 있는 효과가 있으며, 따라서 단량체 자체의 특성을 고려하여 센서용 감지막이나 리소그래피용 레지스트 및 광학 박막등을 용이하게 제조할 수 있는 효과가 있다본 발명은 물리적 화학적으로 안전된 박막을 형성할 수 있으며, 센서용 감지막이나 리소그래피용 레지스트 및 광학 박막을 제조할 수 있어 그 시장성은 매우 크다.