일반기술

폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF) 박막과 일렉트렛트 제조 장치

본 발명은 종래의 PVDF 박막 및 일렉트렛트 제조시의 문제점을 해결하고 진공상태에서 PVDF 박막을 제조하면서 일렉트렛트를 제조하기 위한 것이다.본 발명은 상기 문제점을 해결하고자, 진공 증착 장치조 내에서 박막을 제조함으로써 박막에 불순물의 혼입을 줄일 수 있으며, 제조시에 기판의 온도를 고온으로 유지함으로써 결정화도를 향상시킬 수 있으며, 특히 일렉트렛트 제조과정에서 발생하는 고분자 절연 파괴와 표면으로 거칠게 배향되는 분자쇄에 의한 압전 특성 및 초전 특성의 감소를 극복할 수 있도록 한 PVDF 박막 및 일렉트렛트 제조장치를 제공한다.본 발명은 폴리비닐리덴 플루오라이드 박막과 일렉트렛트 제조 장치에 관한 것으로서, 진공 증착조so에서 고분자 원재료를 그 하부에서 가열 증발시키는 할로겐 램프와, 원재료와 할로겐 램프의 측면과 상면 일부를 밀착하여 감싸고 상면 나머지 부분으로 증발된 원재료 기체 분자를 비산시키는 포트와, 상기 포트 주변을 감싸서 내부 열이 외부로 손실되는 것을 차폐시키는 열차폐부와, 여러 차폐부내의 온도를 유지 제어하는 온도 조절기를 포함하는 가열부와, 또한 증발된 원재료가 증착되는 기판부는 박막을 형성하고자 하는 기판면으로 원재료 기체 분자가 유입되는 경로상에 위치하는 메시와, 메시 위에 직접 고정하여 기체 분자가 직접적으로 전압에 노출되는 것을 방지하는 스페이서와, 메시에 선택적으로 고전압의 부전계를 공급하여 기판면에 정전계를 유도시켜서 유입되는 기체 분자의 배향을 제어하는 고전압 발생기를 포함하는 것이 특징이다.본 발명은 진공 증착내에서 PVDF 박막 및 일렉트렛트를 선택적으로 제조할 수 있으며, PVDF 박막 제조시 불순물의 혼입을 줄일 수 있고, 기판의 온도를 고온으로 유지함으로써 결정화도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.또한 일렉트렛트 제조 과정에서 발생하는 고분자 절연 파괴와 표면으로 거칠게 배향되는 분자쇄에 의한 압전 특성 및 초전 특성의 감소를 방지하여 압전 특성과 초전 특성을 이용하여, 집적화, 경량화, 박막화 추세에 부합되는 센서 재료 개발에 있어 획기적인 효과가 있다.본 발명은 센서 재료 개발에 있어 획기적인 효과가 있어 그 시장성이 크다.