일반기술

고분자 박막 증착을 위한 개량된 크루드센 셀

열증발법의 열증발기로서 시료용기의 하단부에 텅스텐 증발원을 설치하는데 이로 인해 시료용기의 측면에 시료의 잔존 문제점과 증발원 온도의 조절이 어렵기 때문에 고분자 시료의 증착 효율이 저하되는 단점, 시료용기의 바닥 부분은 상대적으로 온도가 낮아 원료의 증발성이 저하되는 것과 작업종료 후에는 고분자 물질이 용기의 바닥 부분에 잔류되는 문제점 및 기능성 고분자 박막을 진공 증착하는 경우, 증발효율이 저하되는 문제점을 해결하고자 한다.본 발명은 고분자재료를 기판에 증착하기 위한 진공증착장치의 핵심적인 구성품의 하나인 크루드센 셀(Knudsen, K-cell)에 관한 것이다. 상기 크루드센 셀(Knudsen cell; 이하 케이-셀이라 함)은 고분자 시료를 가열하여 기판에 증착되도록 하는 역할을 한다.본 발명은 특히 온도제어가 가능하고 시료를 충분히 증발시킬 수 있도록 시료가열방식이 개량된 크누드센 셀(에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 시료가 적층되는 부분과 그 측면을 동시에 가열하는 복수가열 방식을 수행함으로써, 시료의 잔류현상을 제거할 수 있음은 물론, 고분자 재료의 증착효율을 증가시킬 수 있게 되는 것이다.따라서 본 발명의 목적은 기능성 고분자 박막을 증착하기 위한 진공증착장비에 있어서, 온도제어가 가능하면서도 시료를 충분히 증발시킬 수 있도록 시료가열방식이 개량된 케이-셀을 제공한다.상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 시료의 가열방식이 단일가열이 아닌 복수가열방식 즉, 시료가 적재되는 부분과 그 측면부를 동시에 가열하는 방식을 채택함을 특징으로 한다. 즉, 본 발명의 케이-셀에서는 시료가 적재되는 부분과 그 측면에 각각 발열원을 설치할 수 있도록 시료용기를 제작하고, 가열온도가 시료용기의 모든 부위에 고르게 전달되도록 하여 시료용기 전체의 온도편차를 최소화함을 특징으로 한다.본 발명은 시료용기의 가열방식이 시료가 적층되는 부분과 그 측면을 동시에 복수가열방식을 수행함으로써, 시료의 잔류현상을 제거할 수 있을 뿐 아니라, 고분자 재료의 증착효율을 증가시킬 수 있다. 본 발명에 따른 개량된 케이-셀은 고분자 박막을 제작하는 생산성을 증대시키고 시료의 낭비를 막아 생산원가를 절감시킬 수 있는 효과가 있다.박막의 성형 및 합성기술의 발달은 컴퓨터 영상기기 및 사무 자동화기를 포함하는 전자, 정보산업기기의 소형화 및 고성능화으로 발전하고 있다.특히, 고집적 및 고정밀성을 필요로 하는 초전소자, 광학소자, 통신소자 등의 분야에서 첨단분야의 핵심부품으로 대두되고 있다.