일반기술

멤스 구조물 수치 해석 방법

본 발명은 미세 기계 전자 구조물(MEMS; Micro Electro Mechanical System)의 컴퓨터 시뮬레이션에 관한 것으로서, 특히 미세 기계 전자 구조물의 거동 특성을 시뮬레이션 하는 수치 해석 기법에 관한 것이다. 본 발명은 마이크로머신 거동 시뮬레이션을 위한 수치 해석 처리를 하는 과정에서 마이크로 구조물을 유한 요소 해석하기 위하여 요소 분할하고, 분할한 요소를 여러 가지 방법으로 해석하는 기능을 제공한다. 또한, 절점 분할한 요소를 해석함에 있어서 완전 적분, 감차 적분을 수행하여 최적의 결과를 도출할 수 있는 기능을 제공한다. 미세 기계 전자 구조물의 거동 특성을 시뮬레이션 하기 위해서는 구조물의 형태에 따라 각기 다른 방법을 사용하여야 한다. 구조물의 거동 특성 시뮬레이션 결과는 구조물의 형태에 따라 잘못된 결과를 유발할 수 있기 때문에, 적절한 유한 요소 해석을 사용하여 상황에 맞는 결과를 얻을 수 있도록 하여야 한다. 점점 더 복잡해지는 마이크로 구조물의 거동 해석을 위해서는 필요한 정확한 물질 정보와 최적의 수치를 알아내는 것이 시간과 실험 비용을 줄이고 보다 정확한 시뮬레이션을 위해 필요하다. 그러나 종래의 기술은 단순히 한가지 방법만을 사용하여 구조물의 거동을 해석하기 때문에 해석하고자 하는 구조물의 상황에 맞지 않아 잘못된 결과를 얻을 가능성이 있다. 본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창안된 것으로, 제1 목적은 마이크로 구조물의 유한 요소 해석을 함에 있어서 마이크로머신 거동 시뮬레이션을 위한 수치 해석 처리 방법을 제공함에 있다. 본 발명의 제2 목적은 상기 제1 목적에 부가하여, 다양한 기하학적 형상을 갖는 구조물에 대하여 다양한 유한 요소 해석 방법을 보다 정확하게 사용하는 방법을 제공하는데 있다.