일반기술

씨알-에스아이-엔계 경질코팅막의 증착방법

본 발명은 Cr-Si-N계 경질코팅막의 증착방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 아크이온플레팅(Arc ion plating)법과 스퍼터(sputter)법을 이용하여 대상물의 표면에 Cr-Si-N계 경질코팅막을 증착하는 방법으로써; 증착 대상물을 소정의 챔버내에 위치시키고, 상기 챔버의 내부를 소정의 진공상태로 한 후, 소정 온도까지 가열하는 과정과; 상기 챔버 내부에 Ar가스를 유입시킨 후, 증착 대상물에 소정의 바이어스 전압을 인가하여 시편의 전처리를 수행하는 과정; 상기 챔버 내로의 Ar가스의 유입을 차단하고, 상기 챔버내부를 다시 진공상태로 한 후, 소정 온도까지 가열하는 과정과; 상기 챔버 내부로 Ar가스와 N2가스를 유입시키고, 상기 시편에 바이어스 전압을 인가한 상태에서, 스퍼터건과 아크건에 각각 전원을 인가하여 대상물의 표면에 Cr-Si-N계 경질 코팅막을 증착하는 단계를 포함하고 있다.이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 증착방법은 AIP법과 스퍼터법의 하이브리드 공정을 통하여 복잡한 형상을 갖는 다양한 금형 및 공구 등에 균일한 표면 도포성을 갖는 고경도의 Cr-Si-N계 경질 코팅막을 증착할 수 있음을 알 수 있다. 그리고 본 발명의 증착방법은 AIP법에 적용하기 어려운 세라믹 타겟을 스퍼터법에 사용하고 다른 타겟을 AIP법에 사용함으로써 다원계 및 다층박막 합성도 가능하다.또한 본 발명의 증착방법에 의하면 금형, 고속절삭공구, 베어링, 바이트, 드릴, 엔드밀 등의 복잡한 공구형상 표면에 고경도 내마모 특성을 가진 Cr-Si-N계 경질코팅막을 증착함으로써 공구의 수명을 연장함과 동시에 다방면으로의 고부가 가치기술산업에 적용할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.