일반기술

다층막용 진공 증착 장치

본 고안은 유기와 무기를 이용하여 디바이스 제작을 위한 기초단계적인 다층막용 진공 증착장치에 관한 것으로서, 시편에 증착물이 균일한 두께로 다증착할 수 있도록 한 것이다. 즉, 본 고안은 다층막 증착장치에 있어서, 축핀을 기점으로 각운동 개폐되는 투명뚜껑이 마련되는 진공실을 형성하고, 상기 진공실 내부 양측에 지주를 세우고 지주 하단에는 안치대를 마련하여 구동수단(7)으로 회동되는 다중증발대를 설치하되, 다중증발대에는 전기적인 가열에 의해 온도가 상승하는 2개소 이상의 증발판을 마련하며 증발판 중 한 개소는 진공실 상부의 시편 고정대와 동일 선상에 위치할 수 있도록 하며, 상기 다중증발대 상부의 지주상에는 중앙에 증발판의 크기와 같은 구멍이 형성되는 증착구판과, 셔터를 고정하고, 상기 지주 상단에는 시편 고정대를 위치시켜 시편을 고정토록 하며, 상기 진공실은 저진공(10-3 Torr 이하)할 수 있는 로터리 펌프와, 고진공(10-3Torr 이상)할 수 있는 터보펌프에 연결하여 고진공할 수 있도록 하고, 시료 고정대에 펠티어소자를 부착하여 증착되는 시료의 조건을 조정할 수 있도록 한 것으로서, 시편에 증착되는 증착물이 균일한 두께로 신속하고 정확하게 다층 증착될 수 있도록 한 것이다.[고안이 이루고자 하는 기술적 과제]본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하고자 안출한 것이다.즉, 본 고안은 진공실 상측에 시편 고정대를 위치시키고 진공실 하단에 회전이 가능하고 다수개의 증발판이 마련되는 다중증발대를 설치하되, 상기 다중증발대에 마련되는 각 증발판은 회동시 상측 시편을 항상 동일선상에 위치하도록 함으로써, 다중증발대로 부터 증발되는 증발물들을 시편고정대에 고정되는 시편에 순차적으로 증착되도록 하여 증착된 막의 두께를 균일하게 할 수 있도록 하고 시편고정대에는 온도제어가 가능한 펠티어소자를 부착하여 증착되는 시료의 조건변화를 자유롭게 한 것이다.[고안의 효과]이상과 같이 구성되고 작용하는 본 고안은 기존의 다층막의 제작에는 두께의 불안정과 불순물이 함유됨으로 인한 작동소자로서의 부정확성이 존재하였으며 다층막을 제작할 경우 여러번 증발시료를 교체해야 되는 문제와 이것에 의한 산화, 온도영향 등의 결점과, 지금까지 연구되어 온 다층막 형태의 디스플레이 연구분야에서 항상 문제되어 온 외부 영향 등과 같은 종래의 초보적인 연구 단계에서 많이 지적된 문제를 해결하고, 응용성이 다양한 증착막이 제작되도록 유도하는 데 큰 역할이 기대되는 것으로, 기능성 전자소자의 제작에 필수적인 다층막 기술의 개발로 새로운 전자소자의 개발과 응용을 촉진할 것이고, 우리 나라 과학기술과 산업적 국가 경쟁력을 제고할 것으로 기대되며, 생산원가를 최소로 하여 염가로 제조가 가능하며, 이를 초박형, 대면적 표시소자에 응용하여 새로운 첨단 산업을 창출할 수 있을 것이다. 따라서 본 고안을 통하여 연구수준을 제고할 수 있으며, 연구기술의 융합을 통한 시너지효과를 창출할 수 있고, 기존 전자산업의 고부가가치화 및 첨단 기술산업의 창출이 기대되는 등 상기에서 언급한 것 이외에 본 고안으로 인한 여러 가지 측면의 기대 및 파급효과를 득할 수 있는 실용성이 매우 우수한 고안이다.