일반기술

삼차원 측정기의 수직 정밀도 보정장치

본 발명은 삼차원 측정기의 수직 정밀도 보정장치에 관한 것으로서, 제1축 안내대(14)를 따라 이송되는 제2축 안내대(18)와, 상기 제2축 안내대를 따라 이송되는 제3축 안내대(22)와, 상기 제3축 안내대를 따라 이송되는 이송축을 가진 삼차원측정기에 있어서, 상기 제3축 안내대(22)는, 상기 제2축 안내대의 길이방향을 따라 이송되는 이송체(32)와, 상기 이송체에고정된 제1플레이트(34)와, 상기 이송축을 안내하는 몸체(36)와, 상기 제1플레이트와 소정의 간격을 두고 상기 몸체에 고정된 제2플레이트(38)와, 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트 사이를 소정간격으로 유지시키도록 상기 제1플레이트와제2플레이트 사이에 삽입된 다수의 구로 이루어지되, 상기 다수의 구는 기준구(40)와, 상기 제2플레이트를 상기 제1플레이트에 대해 일측방향으로 경사시키도록 상기 기준구에서 일측방향으로 소정간격 이격되게 설치된 제1조절구(42)와, 상기 제2플레이트를 상기 제1플레이트에 대해 타측방향으로 경사시키도록 상기 기준구에서 타측방향으로 소정간격 이격되게 설치된 제2조절구(44)로 되어 있으므로, 이송축의 수직정밀도를 간편하고 정확하게 보정하여 높은 정밀도를 유지시킬수 있다.본 발명에 의한 삼차원 측정기의 수직 정밀도 보정장치에 의하면, 삼차원 측정기의 모든 구성요소가 완전 체결된 상태에서간단히 수직 정밀도 보정을 하게 되고 언제든지 수정이 가능하므로 주위 환경과 볼트의 조임에 의한 변형에도 쉽게 대처할수 있어, 이송축의 수직 정밀도를 간편하고 정확하게 보정하여 삼차원 측정기의 높은 정밀도를 유지시킬 수 있다. 그리고반도체 측정장비, 디스플레이 검사장비 등에 활용이 가능한 구조로 높은 이송 정밀도를 요구하는 장비에 다양하게 활용할수 있다.