일반기술

하이브리드 방식의 마이크로터빈용 스러스트 가스베어링

본 발명은 마이크로 터빈용 스러스트 가스베어링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하이드로스테틱 방식 및 하이드로다이나믹 방식이 조합된 하이브리드 방식의 마이크로터빈용 스러스트 가스베어링에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마이크로터빈용 스러스트 가스베어링은 하이드로스테틱 방식의 설계요소로서, 실리콘 기판으로 된 몸체의 중심의 둘레에는 외부로부터 고압 가스가 유입되는 수개의 오리피스가 소정의 간격을 두고 형성되고, 하이드로다이나믹 방식의 설계 요소로서, 상기 수개의 오리피스의 둘레에는 오리피스를 통과한 고압가스가 그것을 따라 유동되면서 터빈 로터의 상하 치우침에 따른 압력차에 의하여 터빈 로터의 위치를 조정하는 수개의 스파이럴 그루브가 형성되며, 상기 수개의 스파이럴 그루브의 둘레에는 스파이럴 그루브를 통과한 고압가스가 외부로 배출되는 통로가 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 마이크로 터빈용 스러스트 가스베어링은 터빈로터의 저속회전으로부터 고속회전에 이르기 까지 거의 전 속도 범위에 걸쳐 안정적으로 작용할 수 있다.○ 기술의 독창성: 일반적인 가스베어링은 스러스트 베어링의 안정성을 보장하기 힘드나 스파이럴 그루브를 이용하여 상단과 하단의 압력평형을 이용하여 고속회전시에도 안정성을 유지하는 기술이 독창적임. ○ 기술의 우수성: 초정밀기계가공 기술력 우수한 베어링성능. ○ 기술의 활용 가능성: 반도체 공정방법과 절차의 연구가 진행되어지면 충분히 양산화 가능함. ○ 관련 유사기술과 비교한 시장 경쟁성: 미래의 초정밀기계 가공분야에서 반도체가공기술은 중요한 위치를 차지하며 그중에서도 초정밀 회전기기의 수요가 증대되어 경쟁성이 충분하다고 판단됨. ○ 본 기술의 이전사업화 조건 등을 고려한 경제성: 본 특허는 다른 기관과 연계되지 않아 기술이전사업화가 매우 용이함.