일반기술

대면적 디지털 엑스레이 이미지 디텍터

본 발명은 디지털 엑스레이 이미지 디텍터에 적합하게 사용되는 디면적 사이즈의 디지털 엑스레이 이미지 디텍터 판넬을 만드는 방법으로서, 더욱 자세히는 대면적 엑스레이 이미지 장치를 타일링을 통하여 형성하는 방법에 관한 것이다. 대면적의 이미지 디텍터 개발은 방사선 검출기 뿐만 아니라 다른 영상 센서에서도 폭넓게 이용될 수 있고, 진공 증착을 이용한 방법은 다른 물질에도 응용이 가능하므로 대면적으로 물질을 도포하는 많은 산업에 응용될 수 있다.본 발명은 방사선을 검출하는 TFT 기반의 디지털 엑스레이 이미지 디텍터 판넬에 있어서 기존의 광도전체 물질인 a-Se을 전하 생성층으로 이용하여 신호를 검출하는 엑스레이 이미지 디텍터를 사용하는 판넬을 이용하여 대면적의 완성된 판넬을 픽셀에 영향을 미치지 않게 붙임으로서 대면적의 디지털 엑스레이 이미지 디텍터를 만드는 것을 특징으로 하며, 이에 따라 가격면에 있어서 경쟁력을 지니고 보다 균일한 디지털 엑스레이 이미지 디텍터를 만들 수 있는 이점이 있다.