일반기술

접합에스오우아이웨이퍼제조방법

본 발명은 접합 SOI 웨이퍼 제조방법에 관한 것으로, 접합 SOI 웨이퍼의 평탄도 및 두께 편차를 줄이고 접합된 단결정 실리콘(10,20) 사이의 결함발생을 방지하기 위한 것이다. 이와 같은 본 고안은 완성시의 크기보다 큰 원판상의 단결정 실리콘(10,20)에 각각 산화막(11,21)을 형성하고, 상기 산화막(11,21)을 서로 접합하여 단결정 실리콘(10,20)을 접 합하는 것이다. 그리고, 접합된 단결정 실리콘(10,20)의 상면을 연삭함에 있어서 먼저, 그 가장자리를 단일의 곡면으 로 연삭처리하면서 완성시의 직경이 되도록 하여 접합 SOI 웨이퍼를 제조하는 것이다.본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, SOI 웨이퍼를 제조함에 있어 단결정 실리 콘 사이의 접합이 보다 완벽하게 이루어지도록 하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 SOI 웨이퍼를 제조함에 있어서 연삭과정중에 단결정 실리콘의 외주 가장자리가 불규칙하게 탈 락되는 것을 방지하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 단결정 실리콘의 표면을 연삭함에 있어서 단결정실리콘과 연삭숫돌이 동일방향으로 회전되 도록 하여 소정의 두께를 균일하게 연삭하도록 하는 것이다.본 발명에 의한 접합 SOI 웨이퍼의 제조방법에 따르면, 두 개의 단결정 실리콘을 접합 하는 것과 접합된 단결정 실리콘을 가공하여 하나의 접합 SOI 웨이퍼를 만들기 위한 공정에서 결함이나 손상의 발생이 줄어들게 되어 SOI 웨이퍼를 제조하는 수율이 좋아지고 품질이 균일하게 되는 효과를 얻을 수 있다.