일반기술

진공증착 장비 내부에 장착되는 4개의 소스보트 어레이

본 발명은 진공 증착 장비의 소스보트(Source Boat)의 디자인과 기하학적 위치에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 진공 증착 장비(Vacuum evaporator equipment)를 이용한 대면적 크기의 a-Se을 증착하는 방법에 있어서, a-Se의 두께의 균일성을 최적화 하는 소스보트(Source Boat)의 크기와 위치에 관한 것이다.현재 진공증착 장비가 사용되고 있는 분야는 상기 언급한 것과 같이 거의 모든 산업에 이용되고 있기 때문에 그 시장성은 매우 넓고 뿐만 아니라 그 가치 또한 매우 높다.본 발명은 진공 증착 장비(Vacuum evaporator equipment)의 소스보트(Source Boat)의 디자인 및 기하학적 위치의 설계에 있어, 대면적 증착이 가능하고 증착된 광도전층의 두께 균일성을 표준 편차 5μm 이내로 최적화시키는 4개의 소스보트 어레이를 제공하는 특징을 가지고 있다.기존의 증착장비와는 달리 본 발명의 소스보트는 기하학적 구조로 위치된 소스보트로 매우 균일한 정도를 가지는 대면적의 물질 증착이 가능할 것으로 기대된다.