일반기술

전이금속 산화물류의 전도성 투명 박막

본 발명은 전이금속산화물에서 나타나는 전도성을 지니는 투명 박막에 대한 것으로서, 물리학적으로 Mott-Hubbard 계의 페로브스카이트 구조의 전이금속산화물로 전자 사이의 상호 작용이 매우 큰 물질에 첨가된 전자나 정공에 의한 도체 형성을 기반으로 하여, Mott-Hubbard 계의 페로브스카이트 구조의 전이금속산화물이 지니는 특이한 반사 특성 에 의한 가시광선 영역에서 투명도가 좋은 도체에 관한 것이다. 이 도체는 La 1-x Sr x TiO 3+δ 로 표현된다. 여기 서 x는 0과 1 사이의 값이며 δ는 Ti의 원자가가 +3과 +4의 값 사이에서 변화되는 값을 지닐 수 있다. 이 때, La은 3 가의 Y 및 희토류 금속인 Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu으로 치환 가능하며 Sr은 Ca, Ba, Pb 등 2가의 금속으로 치환 가능하고 Ti은 V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu로 치환 가능하다.본 발명은 가시광선의 투과율이 80% 이상이고, 수백 Ω정도의 면저항을 가지는 박막에 관한 것이다. 본 발명은 물질마다 지니는 일함수의 차이 등 전자 소자에서 필요한 ohmic 접합이나 Schottky 접합에 필요한 물질의 변화를 이를 수 있으며 이에 따른 특성 향상을 이룰 수 있을 것이다.본 발명에 따르면 페로브스카이트 구조를 가지는 전이금속산화물류를 이용하여 광투과율과 전도성이 우수한 투명 박 막을 형성할 수 있다. 이를 통하여 종래의 ITO나 IZO를 기반으로 하는 물질과 그 변형류를 이용하여 형성하는 투명 전극을 대치할 수 있다.