일반기술

상압증기 분사방식에 의한 산화아연 박막형성방법

본 기술에서 아연은 증기의 형태로 반송기체를 이용하여 챔버내에 분사되고 노즐을 통해 수증기를 분무시킴으로써 ZnO박막이 형성된다. 이때 ZnO박막특성은 기판온도를 변화시킴으로 변화시킬 수 있다. 금속유기물 또는 비유기물을 아연원으로 사용하지 않으므로 잔류불순물에 의한 오염이 없고, 300℃에서 증착되므로 기판재질에 대한 제한이 적다. 또한 대기압하에서 증착하기 때문에 대면적화가 용이하고 증착장비와 증착과정이 간단하여 대량생산에 적합하다.투명전도성 막으로는 ITO(Indium Tin Oxide)가 상용화되고 있으나 고가의 인듐원 때문에 생산단가가 높고 플라즈마 처리 시 투명성이 나빠진다는 단점이 있어 ZnO박막을 중심으로한 텍스처형 투명전도막에 대한 연구가 진행되고 있다.상압에서 ZnO를 형성하므로 여타 고가의 장비로 제작된 ZnO보다 단가를 훨씬 낮출 수 있어 매우 독창적이라고 할 수 있다.태양전지 및 평판표시소자등과 같은 광전소자에 필요한 투명전도막으로 활용 가능하다.현재 ITO위주의 기술들만이 연구 및 상용화되고 있는 시점에서 저가의 ZnO의 양산개발이 이루워 진다면, 생산단가를 현저히 줄일 수 있을 것으로 예상된다.