일반기술

회절광학소자와 단일칩으로 집적된 광전자소자

회절광학소자와 단일칩으로 집적된 공전자소자에 관해 개시되어 있다. 반도체 기판에 복수개의 광 수신부가 구비되어 있고, 상기 복수개의 광수신부가 형성된 반도체 기판의 이면에는 입사되는 광을 상기 복수개의 광수신부로 분배시키는 광조절부가 구비되어 있다.본 기술에 의하면, 회절기능을 갖는 광학소자 예컨대, 회절광학소자를 사용함으로써, 마이크로 렌즈가 한 개의 입사광을 한 개의 출사광으로 스위칭한 것에 비해, 회절광학소자는 설계에 따라 여러 개의 출사광으로 스위칭하는 것이 가능하다. 따라서 회절광학소자 하나당 여러 개의 광전자 소자를 대응시킬 수 있어, 집적화가 가능하다. 그리고 회절광학소자는 파(wave)의 기본 성질중의 하나인 회절현상을 이용하고 또한 파장에 따라 그 스위칭 방향이 달라지므로 고대역폭의 광 수신단을 형성할 수 있다. 또한 상기 회적광학소자는 평면형태로 형성되고 사진식각공정을 이용하여 형성함으로써, 공정이 단순하고 대량제작이 가능한 이점이 있다. 더욱이 설계단계에서 파라미터를 조정함으로서 빔의 퍼짐을 줄이는 회절광학소자를 형성할 수도 있다.본 기술은 회절 광학 소자를 이용한 광 조절부와 광 검출부, 광 수신부를 단일칩으로 집적시킨 광소자에 대한 독창성이 돋보인다.렌즈를 이용하지 않고, 편명 형태로 집적화가 가능하고 하나의 소자로 여러 개의 광 수신부를 대응시킬 수 있어 정보의 대량 처리 및 집적화가 가능하다.다양한 파장에서의 회절 특성에 대한 연구를 바탕으로 전기(Electric)-광(Opto)-전기(Electric) 스위치로의 활용이 기대된다. 회절 광학 소자를 이용한 광 조절부에 대한 특허 및 기술들은 많이 개발되어 있으나, 이를 단일칩으로 집적한 소자에 대한 상용화를 진행하고 있으며, 본 특허의 기술을 활용하면 단일칩으로 이러한 기능들을 구현할 수 있어 경쟁력을 갖춘 것으로 고려된다.