일반기술

ＭＥＭＳ 기술을 이용한 가속도센서 및 그 제조 방법

본 기술은 가속도를 검출하는 가속도센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 무인자동화 시스템에서 다수의 공작기계에 대한 효율적인 진단 및 감시가 가능한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용한 가속도센서및 그 제조방법에 관한 것으로,실리콘 웨이퍼 양면에 제 1 산화막을 형성시키는 단계, 상기 제 1 산화막을 패터닝하는 단계, 상기 패터닝된 실리콘 웨이퍼의 하면을 벌크 에칭(bulk etching)하는 단계, 상기 벌크 에칭된 실리콘 웨이퍼에 제 2 산화막을 형성시키는 단계, 상기 제 2 산화막을 패터닝하는 단계, 상기 실리콘 웨이퍼의 하면에 베이스 실리콘 웨이퍼를 적층하는 단계, 상기 실리콘 웨이퍼에 진동센서를 디프 반응성 이온 에칭(Deep Reactive Ion Etching : DRIE) 식각으로 형성하는 단계, 상기 실리콘 웨이퍼에 광섬유 삽입홈을 디프 반응성 이온 에칭 식각으로 형성하는 단계, 상기 광섬유 삽입홈에 입, 출력 광섬유를 고정시키는 단계, 상기 입, 출력 광섬유가 고정된 상기 실리콘 웨이퍼 상면에 고정물을 패키징 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기술을 이용한 가속도센서의 제조방법을 제공한다.본 기술은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 광섬유의 사용으로 온도의 영향과 케이블에서의 잡음 극복과 원거리 측정이 가능하며, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 소형화된 센서를 저렴하게 생산할 수 있는 MEMS 기술을 이용한 가속도센서 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.본 기술에 따라 MEMS 기술을 이용한 가속도센서 및 그 제조방법은, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 센서의 소형 제작이 가능하며, 광의 전송로로써 광섬유를 사용하여 무인 자동화 시스템을 구축할 때 다수의 공작기계를 장거리에서 효율적인 진단 및 감시가 가능한 효과가 있다.