일반기술

미세 각속도계 및 그의 큐 팩터를 튜닝하는 방법

기존에 사용된 미세 각속도계의 Q 팩터 튜닝은 미세 각속도계 소자에 튜닝 전극을 추가로 배치함으로써 이를 통하여 정적력을 피드백하는 원리였다. 하지만 이와 같이 튜닝 전극을 추가로 배차하는 경우, 미세 각속도계 소자 자체의 크기가 증가하고, 회로가 복잡해지며, 각 전극에서 피드백을 위한 기전력이 동일하여야 한다는 문제가 있다. 본 기술은 상기 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 기술의 목적은 미세 각속도계의 Q 팩터를 튜닝하는 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술은 Q 팩터를 튜닝할 수 있도록 제1검지전극 및 제2검지전극 사이에 귀환 회로부가 구비되어 있는 미세 각속도계 및 미세 각속도계의 Q 팩터를 튜닝하는 방법에 관한 것이다. 본 기술에 따른 미세 각속도계에는 튜닝전극이 사용되지 아니하면서도 그의 Q 팩터가 용이하게 튜닝될 수 있다.일반적으로 미세 각속도계의 Q 팩터 튜닝을 위해서는 튜닝 전극을 추가로 배치해야 하지만, 미세 각속도계의 제1검지전극 및 제2검지전극 사이에 귀환 회로부를 구비함으로써 미세 각속도계의 Q 팩터를 튜닝한다는 점은 독창성이 매우 뛰어나다.미세 각속도계 소자 자체의 크기를 증가시키지 않고 Q 팩터 튜닝 가능하며, Q 팩터 튜닝의 자동화 기술만 개발된다면 충분히 제품으로 상용화 될 수 있다고 판단된다.미세 각속도계 소자 자체의 크기 증가가 없으므로, 고집적 및 단가 감소의 효과를 얻을 수 있다.