일반기술

반사광 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의레이저 광 제어 방법 및 표면 거칠기 계측용 레이저 광제어장치

본 발명은 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어방법 및 표면 거칠기 계측용 레이저 광 제어장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어방법은 레이저를 이용한피사체의 표면 거칠기 계측에 있어서, 1) 상기 피사체로부터 반사된 정반사광과 난반사광의 각각의 광데이터가 영상 센서에 획득되는 단계 2) 상기 광데이터로부터 상기 피사체의 표면 거칠기를 계측하고, 상기 정반사광의광강도 및 난반사광의확산 정도를 이용하여 계산된 상관 관계를 통하여 상기 각각의 반사광을 블렌딩하는 단계 3) 상기 블렌딩된 반사광의 광강도를 설정기준으로 정규화하는 단계 4) 상기 정규화된 반사광의 광데이터를 레이저 광원이 입력받아 상기 피사체로 입사되는 레이저 광을 제어하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.본 발명을 통하여 영상의 정반사 영역에서 뚜렷한 광강도의 변화를 획득할 수 있으며 정반사광과 난반사광 두성분을 정확하게 획득할 수 있는 효과를 얻는다.덧붙여 반사광 성분 중 정반사광의 강도와 난반사광의 분포를 하나로 조합하는 방법도 함께 필요한 바, 이들을 서로 조합한다면 정반사 성분과 난반사 성분의 비율 변화를 모든 거칠기의 표면에 대해 동시에 반영할 수 있으며, 표면 거칠기 산출식을 매끈한 면과 거친 면에 대해 단일화할 수 있는 효과가 있다.본 발명의 전체적으로 요약하자면, 대개 표면 거칠기를 측정하고자 할 때 비접촉식을 원할 경우 레이저 광을 이용하지만간섭이나 회절 현상에 기반한 방법이 보통이다. 그러나 이는 반드시 나노미터 오더의 값비싼 이송계가 들어가며 인프로세스 측정이 불가능하다. 반면 광의 반사 현상을 이용한 방법은 분해능이 떨어지고 한 스폿에 해당하는 값밖에 알 수 없더라도 현장에서 손쉽고 빠르게 표면 거칠기를 즉시 측정하고자 할 때 큰 장점을 지닌다. 본 발명은 광 반사 기반 표면 거칠기측정법의 측정 성능을 개선하기 위해 영상 정보 피드백을 통한 광량 조절 알고리즘과 광량 조절 장치를 통해 하나의 영상센서만으로 서로 다른 광 반사 성분을 동시에 획득하였고, 각 반사 성분을 서로 블렌딩(조합)하여 측정 정밀도는 물론 측정영역도 동시에 향상시킬 수 있었다.